半導體前道制程量測設備公司優睿譜完成近億元A輪融資，本輪融資由基石浦江領投，渾璞投資、星河資本、中南創投、泓湖資本、杭州盟合、景寧靈岸等跟投。本輪融資將用于新產品的研發及量產。公司同時宣布啟用無錫技術中心和上海金橋研發中心。

　　優睿譜成立于2021年，致力于打造高品質的半導體前道量測設備。

　　半導體量測設備主要用于半導體制造工藝中缺陷檢測和參數測量，廣泛用于硅片制造、芯片制造、先進封裝領域，如關鍵尺寸測量設備、薄膜厚度測量設備、缺陷檢測設備等。前道制程量測設備已超過百億美元市場規模。而更先進的制程工藝也擴大了量測設備的需求，給量測設備帶來更多新的市場空間。

　　優睿譜自主開發了半導體專用傅里葉變換紅外光譜測量設備，可以用來測量外延層厚度及均勻性、元素濃度、硅料雜質含量等。

　　產品方面，優睿譜FTIR設備Eos200Lite可用于碳化硅外延片外延層厚度及均勻性測量，目前已獲得多家頭部碳化硅基外延廠訂單；Eos200/200+, Eos300/300+用于硅基外延片外延層厚度和元素濃度測量設備也已獲得多家頭部硅基外延廠和FAB廠訂單。

　　近日，公司的碳化硅自動光學位錯微管檢測設備SICD系列交付客戶，可用于碳化硅襯底的位錯及微管缺陷檢測。據優睿譜總經理唐德明博士介紹，較國內同類功能的設備，SICD設備在檢測速度上提升了數倍。

　　優睿譜總經理唐德明博士表示，由于公司產品線更加豐富、經營規模持續擴大，公司在無錫設立了技術中心。本次無錫技術中心的正式啟用，有助于公司加快對客戶的產品交付、有助于加快新產品的研發、驗證和量產。優睿譜致力于打造高品質的半導體前道量測設備，在深厚的技術積累基礎上實現技術創新，助力中國半導體前道量測設備自主可控。

　　在創始團隊上，優睿譜核心團隊由長期從事半導體行業的海歸博士和國內資深的IC前道制程量測設備技術團隊構成。目前，優睿譜擁有近60名員工。

　　投資人說：

　　基石浦江：優睿譜團隊的技術創新和執行能力給我們留下深刻的印象。在持續拓展FTIR設備應用領域外，優睿譜還開發了多款用于其他前道量測場景的檢測和測量設備，帶動公司快速發展。

　　渾璞投資合伙人姜寅明：半導體量檢測設備被看作是半導體制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演著非常重要的角色。當前，半導體量檢測設備面臨著迫切的國產替代需求，優睿譜在較短時間內完成了多款量檢測產品的開發、推廣和驗證，充分反映出團隊的深厚技術積淀、廣闊人脈資源和強大市場能力。

　　中南創投合伙人王建暉：在半導體制造發展和制程工藝提升過程中，先進的量測設備必不可少，優睿譜正是順勢而生的一家優秀的半導體前道量測設備公司。憑借團隊深厚的研發能力、上下游供應鏈的資源整合能力、敏銳的市場洞察力以及客戶開拓和服務能力，優睿譜成立僅一年半，就推出多款填補國內空白的前道量測設備，并獲得多家知名客戶的訂單和認可。